חפש פניגן

  • חדשות ומדיה
  • מאמרים
  • תובנות IP
  • ניסוח ואכיפה של פטנטים בתחום המוליכים למחצה

    10 פבר 2016
    News1

    הניסוח והאכיפה של פטנטים בתחום המוליכים למחצה כרוך באתגרים ייחודיים. הצירוף של טבעם הממוזער של מוליכים למחצה, תהליכי הייצור המורכבים המשמשים ליצירתם והצורך להשתמש בבדיקות הנדסה-לאחור טכניות מאוד ויקרות – יכול להקשות על הוכחת הפרה. כדי לאכוף פטנט, על הבעלים של הפטנט להוכיח שמוצר המואשם בהפרה אכן כולל כל אחד מהמרכיבים של תביעת הפטנט. לדוגמה, אם בתביעת הפטנט של התקן מוליך למחצה נאמר: "התקן מוליך למחצה-תחמוצת-מתכת הכולל: מוצא, שפך ומבנה שער", הרי שכדי להוכיח הפרה, המוצר המואשם בהפרה חייב לכלול התקן העשוי מתכת, תחמוצת ומוליך למחצה, וחייב גם לכלול מוצא, שפך ומבנה שער. 

    התקני מוליכים למחצה מציבים מעצם טבעם אתגרים ייחודיים בכל הקשור לאכיפה מכיוון שהם מיוצרים בקנה מידה ננומטרי ולעתים קרובות בנויים במבנה רב-שכבתי, ומשום כך אנליזה של המוצרים המפרים גוזלת זמן רב ויקרה מאוד. ביצוע החקירה טרום-תביעה הנדרשת כדי להוכיח הפרה של התקן מוליך למחצה רב-שכבתי בקנה מידה ננומטרי הכולל מבנה שער עשוי לחייב מספר רב של בדיקות ברזולוציה גבוהה של חתכי רוחב באמצעות מיקרוסקופ אלקטרוני סורק (SEM) ומיקרוסקופ אלקטרוני חודר (TEM). בנוסף, ייתכן שיהיה צורך להסיר מספר רב של שכבות מתכת מסוף תהליכי הקו (BEOL) באמצעות תהליכי תצריב (etching). העלוּת של בדיקות הנדסה-לאחור אלה ובדיקות אחרות יכולה להגיע לעשרות אלפי דולרים (או יותר). 

    כדי להקל על ההתמודדות עם אתגרים אלה, בקשות לרישום פטנטים בתחום המוליכים למחצה צריכות להיות מנוסחות על ידי מומחים הבקיאים בטכנולוגיה, שלהם סיכוי טוב יותר להבין האם ניתן לזהות בקלות מאפיינים מסוימים במוצרים מפרים. זאת ועוד, מנסח פטנטים בעל ידע יוכל לכתוב תביעות פטנט המגינות בצורה הטובה ביותר על האמצאה, מבלי שיהיו קשות מידי להוכחה. 

    לדוגמה, בעת ניסוח תביעה לגבי תהליך בתחום המוליכים למחצה, יש להפנות תשומת לב נוספת לפעולות של הפחתת-חומר בתהליך הייצור של מוליכים למחצה, למשל, תהליך תצריב. אם שכבה מסוימת מוּסרת/נצרבת במלואה במהלך הייצור, ייתכן שלא יהיה פשוט להוכיח על ידי אנליזה של המוצר המוגמר שהשכבה הזו הייתה קיימת או שבוצע תהליך של תצריב. פירוש הדבר שקשה להוכיח שאכן נעשה שימוש בתהליך הנטען מתוך בחינה של המוצר הסופי. וכן, סביר להניח שהצעדים המפורטים הכלולים בתהליכי הייצור לא פורסמו והם עשויים להיות מוגנים כסודות מסחריים. 

    בנוסף על כך, ישנן מגבלות ליכולות האנליטיות של המכשירים המשמשים לביצוע הנדסה-לאחור (כגון ספקטרוסקופיה ומיקרוסקופ אלקטרוני). לעתים קרובות הם שקובעים איזה מאפיין ניתן לזהות במוצר המפר באמצעות הנדסה-לאחור, וכך, למעשה, לקבוע איזה מאפיינים ניתן לכלול בתביעה. באופן אינטואיטיבי, אנליזה איכותנית (למשל, נוכחות של זרחן מסוים בשכבה של מוליך למחצה) מאתגרת פחות מאשר אנליזה כמותית (למשל, ריכוז הזרחן). בקשות לרישום פטנטים בתחום המוליכים למחצה צריכות להיות מנוסחות על ידי מי שמכירים הן את הטכנולוגיה והן את המגבלות של בדיקות הנדסה-לאחור, על מנת להקנות את

    ההגנה הטובה ביותר לאמצאות אלה. 

    פורסם לראשונה ב- News1 

    © זכות יוצרים .Finnegan, Henderson, Farabow, Garrett & Dunner, LLP מאמר זה מיועד למסירת מידע, אין בכוונתו להוות ייעוץ משפטי, והוא עשוי להיחשב מאמר פרסומי על פי חוקי המדינה החלים בעניין זה. מאמר זה מבטא את דעת מחבריו בלבד ואין לייחס את האמור בו למשרד Finnegan, Henderson, Farabow, Garrett & Dunner, LLP או ללקוחות המשרד.

    מקצוענים קשורים

    ג´פרי א. ברקוביץ´
    Email